METROLOGÍA DE SEMICONDUCTORES

XRF, XRD Y XRR PARA CARACTERIZACIÓN DE PELÍCULA FINA
Dentro de la industria de los semiconductores, existe una demanda continua de circuitos integrados (IC) que exhiban un mayor rendimiento a un costo menor que sus predecesores. Las herramientas de metrología de obleas se utilizan para diseñar y fabricar circuitos integrados controlando cuidadosamente las propiedades de la película, los anchos de línea y los niveles de defectos potenciales para optimizar el proceso de fabricación de estos dispositivos. Las herramientas de metrología combinadas con las capacidades de inspección de obleas pueden garantizar que apunten a las propiedades físicas y eléctricas de los dispositivos semiconductores en producción. La metrología de obleas puede identificar específicamente partículas de superficie, defectos de patrón y otras condiciones que podrían causar efectos adversos en el rendimiento de estos dispositivos.

Rigaku es un pionero y líder mundial en el diseño y fabricación de herramientas de medición basadas en rayos X (difracción de rayos X, fluorescencia de rayos X y reflectometría de rayos X) para resolver los desafíos de fabricación de semiconductores. Con aproximadamente 30 años de liderazgo en el mercado global en la industria de los semiconductores, nuestras familias de productos permiten todo, desde la metrología de control de procesos en fábrica hasta la I + D para la caracterización de materiales y películas delgadas.

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