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ESPESOR / COMPOSICIÓN DE LA PELÍCULA Y HERRAMIENTAS DE CONTAMINACIÓN DE OBLEAS

Rigaku es un pionero y líder mundial en el diseño y fabricación de instrumentación basada en tecnología de rayos X para resolver los desafíos de fabricación en I + D y producción de semiconductores. Con más de 35 años de liderazgo en el mercado global en esta industria, nuestras familias de productos permiten todo, desde metrología de control de procesos en fábrica hasta I + D para la caracterización de materiales y películas delgadas. Nuestra difracción de rayos X ( XRD ), fluorescencia de rayos X (XRF), reflectometría de rayos X (XRR) y topografía de rayos XLas herramientas de metrología (XRT) miden parámetros críticos del proceso como película delgada: espesor, composición, rugosidad, densidad, porosidad y estructura cristalina y defectos en la estructura cristalina. Además, ofrecemos herramientas de proceso de Fluorescencia de rayos X de reflexión total (TXRF) y Descomposición en fase de vapor-Fluorescencia de rayos X de reflexión total (VPD-TXRF) para la medición de la contaminación. Con servicio y soporte global 24/7, Rigaku ofrece soluciones de vanguardia para la mejora de su rendimiento y el desarrollo de procesos.

SmartLab
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DIFRACTÓMETRO DE RAYOS X MULTIPROPÓSITO AUTOMATIZADO (XRD) CON SOFTWARE DE ORIENTACIÓN Difracción de polvo, metrología de película delgada, SAXS, dispersión en plano, mediciones de operando